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平均功率

>15W

>30W

脈沖能量

>150uJ

脈沖持續時間

500 fs        

重復率

單脈沖-2 MHz

波長

343 nm±2 nm

光譜帶寬

< 0.5 nm

M2

<1.3

像散

< 25%

邊帶不對稱性

< 10%

功率穩定性

<1% rms

光束圓度

> 87%

光束指向穩定性

< 25 urad / ℃

尺寸

激光頭：89 x 48 x 16 cm；電源：60 x 55 x 53

重量

激光頭：85kg；電源：52kg