挑戰:制造相對較大(從數十μm到cm),同時具有精細(數百nm)內部特征的部件。 解決方案:在制造過程中實時調整數值孔徑(NA),這為即時的分辨率控制提供了一種簡便的方法。因此,體積大且不需要高分辨率(>1μm...
挑戰:
制造相對較大(從數十μm到cm),同時具有精細(數百nm)內部特征的部件。
解決方案:
在制造過程中實時調整數值孔徑(NA),這為即時的分辨率控制提供了一種簡便的方法。
因此,體積大且不需要高分辨率(>1μm特征尺寸)的部件可以使用較低的NA(<0.8)來制造;然而,制造精細的特征(小于1μm)是選擇使用具有較高的NA(0.8 <)。