挑戰:在整體規模相當大(mm-cm)的結構中精細結構(保真度nm-μm)加工。這些組件在機械上必須堅固,并且能透過從紫外到紅外的寬光譜范圍。解決方案:材料熔斷石英(機械堅固、且可以透過從紫外到紅外的寬泛光譜范...
挑戰:
在整體規模相當大(mm-cm)的結構中精細結構(保真度nm-μm)加工。
這些組件在機械上必須堅固,并且能透過從紫外到紅外的寬光譜范圍。
解決方案:
材料熔斷石英(機械堅固、且可以透過從紫外到紅外的寬泛光譜范圍),工藝為選通激光蝕刻。另外由于制造中熔斷石英不會發生收縮變化,加工的產品與原型偏差極小,并且對可以加工的產品的尺寸大小幾乎沒有限制。