飛秒激光微加工技術作為一種新興的加工技術,具有非接觸、效率高、加工精度高、熱效應小、損傷閾值低以及能夠實現真正的三維結構微加工等傳統技術無法比擬的諸多優點,其應用領域相當廣泛。原理:將樣品放置在由計算...
飛秒激光微加工技術作為一種新興的加工技術,具有非接觸、效率高、加工精度高、熱效應小、損傷閾值低以及能夠實現真正的三維結構微加工等傳統技術無法比擬的諸多優點,其應用領域相當廣泛。原理:將樣品放置在由計算機控制的三維精密平移臺上,通過半波片和線偏振片的組合來調節脈沖能量,使飛秒激光通過物鏡聚焦到樣品表面或體內,加工過程可以通過ccd成像系統實時監控。
飛秒激光器具有極短的脈沖寬度和極高的峰值功率,加工熱效應低等特性,因此飛秒微加工系統可廣泛應用于:微流體器件加工、激光打孔、太陽能電池加工、金屬微加工、打標、金剛石切割、選擇性燒蝕去除、心臟支架加工、結合多光子聚合在生物醫學器件、微機械的加工等。
圖一、二:太陽能電池選擇性去除絕緣層
圖三:血管支架切割 圖四:金屬微加工
圖五:微通道成型 圖六:金剛石切割
圖七: 玻璃管/光纖鉆孔 圖八:藍寶石表面紋理